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        合景集團發布

        首頁 新聞中心 行業資訊 千級半導體凈化車間工程參數要求

        千級半導體凈化車間工程參數要求

        2024-01-24
        共有805家企業看過

          千級半導體凈化車間是一種高潔凈級別的車間環境,用于半導體生產和制造過程。以下是一些常見的千級半導體凈化車間工程參數要求,具體隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

          千級半導體凈化車間工程是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害物質等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一范圍之內,而給予特別的房間。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這就是業內俗稱級別的千級凈化。

          千級半導體凈化車間工程參數:

          千級半導體凈化車間工程室內空氣參數要求:

          (1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%;

          (2)新風量大:由于這類車間內,人員比較多,可以根據以下數值應取下列的大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%,補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量,保證室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h;


        千級半導體凈化車間


          (3)送風量大:為了滿足無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要 300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數 是≥15次/h)。

          千級半導體凈化車間工程是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間,亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

          以上是一些常見的千級半導體凈化車間工程參數要求。具體的要求可能會根據不同的項目和標準有所不同,因此建議與專業的凈化車間設計師或工程師合作,以確保設計方案符合相關要求。

        EPC無塵凈化工程案例

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