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        合景集團發布

        首頁 新聞中心 行業資訊 半導體潔凈廠房裝修建筑布局設計

        半導體潔凈廠房裝修建筑布局設計

        2023-12-04
        共有3382家企業看過

          合潔科技電子凈化工程公司介紹說,半導體潔凈廠房裝修要根據實踐的出產流程設定相應的功能間,需要考慮人員物流的走向和作業效率,在平面計劃初步斷定的基礎上,再斷定潔凈區與非潔凈區,潔凈區的潔凈等級;然后斷定相應的換氣次數或是截面風速;然后安置送回風口,規劃潔凈送風機組(大小、方位、風機空調選型等),規劃送回新風管道等。

          半導體潔凈廠房裝修的平面布局,一般包括無塵區、準無塵區和輔佐區三部分。平面安置能夠有以下幾種方法:外廊盤繞式,外廊能夠有窗和無窗,兼作觀賞和放置一些設備用,有的在外廊內設直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。內廊式,車間設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的無塵度等級一般都較高,乃至和無塵車間同級。兩頭式,無塵區設在一邊,另一邊設準無塵和輔佐用房。中心式,為了節省用地、縮短管線,能夠無塵區為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來,這種方法避開室外氣候對無塵區的影響,削減了冷熱能耗,利于節能。



          為了在操作中盡量削減人活動發生的污染,人員在進入無塵區之前,有必要替換無塵服并洗手、消菌、過風淋,這些措施即人員凈化。人員凈化用房中替換無塵服的房間應予送風,并對進口側等其他房間堅持正壓,對廁所、淋浴堅持少量正壓,而廁所、淋浴應堅持負壓。物料凈化道路,各種物件在送入無塵區前有必要通過凈化處理,物料凈化道路與人凈道路應分隔,如果物料與人員只能在同一處進入半導體潔凈廠房,也有必要分門而入,物料先通過粗凈化處理。

          關于出產流水線不強的場合在物料道路中心可設中心庫,如果出產流水線很強,則選用直通式物料道路,有時還需在直通道路中心設傳遞設備。

          在體系規劃上,物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒,所以相對無塵區應堅持負壓或零壓,如果污染性大則對進口方向也要堅持負壓。無塵車間的管線十分復雜,所以對這些管線均選用隱蔽組織方法;詳細隱蔽組織方法有以下幾種。技能夾層,頂部技能夾層,在這種夾層內一般因送、回風管的斷面大,故作為夾層內首要考慮的目標。一般將其組織在夾層的上方其下組織電氣管線。當這種夾層的底板可接受必定分量時,能夠在上面設置過濾器及排風設備等。

          房間技能夾層,這種方法和頂部夾層比較,能夠削減夾層的布線與高度,能夠省去回風管道返回上夾層所需的技能夾道,夾道內還可設回風機動力設備配電等,車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。技能夾道(墻),上下夾層內的水平管線一般都要轉向為豎向管線,這此豎向管線地點的蔭蔽空間即技能夾道。

          這類技能夾道(墻)由于大多選用輕質間隔,所以當工藝調整時,可方便地進行調整。技能豎井,如果說技能夾道(墻)往往不越層,則需求越層時即用技能豎井,而且常常作為修建結構的一部分。

          由于技能豎井把各層勾結起來,為了防火內部管線安裝完成后,要在層間用耐火極限不低于樓板,檢修作業分層進行,檢修門有必要設防火門。不管技能夾層,技能夾道還是技能豎井,當直接兼作風道時,其內外表有必要按無塵車間的內外表的要求處理。

        EPC無塵凈化工程案例

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